根據(jù)客戶的需求定制各類硅片,超薄硅片,超厚硅片,超平硅片,氧化硅片,氮化硅片,鍍鋁片,鍍銅片等等,尺寸覆蓋100mm~300mm.
超平硅片參數(shù)范例:
直徑:300毫米
局部平整度:
局部平整規(guī)格:<=0,05微米, <=0,11微米, <=0,13微米, 或<=0.25微米
可用區(qū)域百分比(PUA):100%
局部尺寸:26x8 毫米
超厚硅片參數(shù)范例:
. 直徑:200毫米
厚度:2000微米
顆粒度:0.2微米<=20ea
超薄硅片參數(shù)范例:
直徑:50毫米-300毫米
電阻率:1-100歐姆.厘米
厚度:200微米
顆粒度:0.2微米<=20ea
表面處理:拋光